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無塵室潔凈度測試標準建議
2022.3.29

文章来源:由「百度新聞」平台非商業用途取用"https://xw.qq.com/amphtml/20220214A03SAL00"

每一種行業,甚至每一家公司或工廠,對無塵室的要求可能都不一樣。各公司在訂定測試規格時,應依照自己的制程需求,在相關規范里取出自己適用的部份,并要求供貨商與測試單位照辦,必要時可以酌情修改測試標準,才能真正滿足自己的需求。作為業主,在制定無塵室的潔凈度等級給工程公司時,可以參考以下幾條:首先:潔凈度等級定義的模式應為:ClassX(atYμm)其中X是無塵室的等級,例如100或10000等等,Y是粒徑如0.2μm,0.5μm等,可復選。意思就是使用者規定,該無塵室微粒含量,在這些粒徑必須滿足該等級的限度。這樣可以減少紛爭,以下是幾個例子:Class1(0.1μm,0.2μm,0.5μm)、Class100(0.2μm,0.5μm)、Class100(0.1μm,0.2μm,0.5μm)。在Classes100(M3.5)andGreater(Class100,1000,10000....),一般看一個粒徑即可。在ClassesLessthan100(M3.5)(Class10,1....),一般要看多幾個粒徑。第二:規定無塵室的狀態,例如:ClassX(atYμm),At-rest供貨商就很清楚知道無塵室要在At-rest狀態下驗收。第三:自訂微粒濃度上限,一般在As-built時無塵室都很干凈,微粒控制能力測試不易,這時可以干脆把驗收上限壓低。例如:Class10000(0.3μmClass10000(0.5μm這樣做的目的是確保無塵室在Operational狀態時,依然有足夠的微粒控制能力。來源:暖通凈化行業協會;Thsto@李磊.查看網友的精彩評論

關鍵字標籤:無塵室規劃

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